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[无机]台塑集团将兴建三氟化氮厂
hc360慧聪网化工行业频道 2004-07-15 11:55:31

    【hc360慧聪网化工行业频道】:近日,台湾地区台塑集团宣布斥资数十亿元新台币(33.7元新台币合1美元),兴建半导体和面板产业特用气体三氟化氮厂。根据计划,该厂9月份投产,初期年产量为200吨,明年底把年产能扩大至400吨,2006年增至800吨。

    三氟化氮是半导体和液晶面板制程普遍使用的清洁气体,过去台湾全部靠进口。保守估计,台湾今年需要三氟化氮600吨,2006年将倍增至1300吨。不久前,日本中央硝子公司和关东电化公司宣布将在台湾兴建三氟化氮厂。 

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