【hc360慧聪网化工行业频道】:近日,台湾地区台塑集团宣布斥资数十亿元新台币(33.7元新台币合1美元),兴建半导体和面板产业特用气体三氟化氮厂。根据计划,该厂9月份投产,初期年产量为200吨,明年底把年产能扩大至400吨,2006年增至800吨。
三氟化氮是半导体和液晶面板制程普遍使用的清洁气体,过去台湾全部靠进口。保守估计,台湾今年需要三氟化氮600吨,2006年将倍增至1300吨。不久前,日本中央硝子公司和关东电化公司宣布将在台湾兴建三氟化氮厂。