由于稀土元素特殊的电子结构及较大的原子半径，其化学性质与其它元素有很大不同，因此，稀土纳米氧化物的制备方法和后处理技术上，与其它元素也有所不同。主要研究的方法有：
1.沉淀法：包括草酸沉淀、碳酸沉淀，氢氧化物沉淀，均相沉淀、络合沉淀等。该方法最大的特点就是：溶液成核快，易控制，设备简单，可制得高纯度的产品。但难过滤，易团聚。
2.水热法：在高温高压的条件下，加快和强化离子的水解反应，并形成分散的纳米晶核。该方法能得到分散均匀、粒度分布狭窄的纳米粉，但要求高温高压设备，设备昂贵，操作不安全。
3.凝胶法：是制备无机材料的重要方法，在无机合成中占有相当的地位。在低温下，有机金属化合物或有机络合物，通过聚合或水解等反应，形成溶胶，一定条件下形成凝胶，进一步热处理，可得比表面较大、分散较好的超微纳米粉。该方法可在温和条件下进行，得到的粉体比表面大、分散性好，但反应时间长，需要数日才能完成，难于达到工业化的要求。
4.固相法：通过固体化合物或中间固相反应，进行高温分解。如硝酸稀土与草酸，固相混合球磨，形成稀土草酸盐的中间体，然后高温分解，得到超细粉。该方法反应效率高，设备简单，操作容易，但所得粉体形态不规则，均匀性差。
这些方法不是唯一的，也不一定完全适用于工业化。还有许多制备方法，如有机微乳法、醇盐水解法等。
工业化开发进展
工业化生产往往不是采用单一的某种方法，而是取长补短，几种方法复合，这样才能达到商业化所要求的产品质量高，成本低，过程安全高效。广东惠州瑞尔化学科技有限公司，近期开发稀土纳米材料取得了工业化进展。经过多种方法的探索和无数次的试验，找到了比较适合工业化生产的方法－微波凝胶法，该技术最大优点是：将原来约10天的凝胶反应，缩短到1天，这样生产效率提高了10倍，成本大大降低，而且产品质量好，比表面大，经用户试用反应良好，价格比美国、日本产品的低30％，非常具有国际竞争力，达到国际先进水平。
最近用沉淀法进行工业试验，主要是用氨水和碳酸氨进行沉淀，并用有机溶剂脱水和作表面处理，该方法工艺简单，成本低，但产品质量欠佳，仍有部分团聚，有待进一步改进和提高。
我国是稀土资源大国，稀土纳米材料的开发应用，开辟了稀土资源有效利用的新途径，扩展了稀土的应用范围，促进了新功能材料的发展，增加了高附加值产品出口，提高了创汇能力，对把资源优势变为经济优势有重要的现实意义。
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